半導(dǎo)體材料中高精度元素成分含量檢測(cè)儀

核心檢測(cè)技術(shù)及儀器

1. 電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀（ICP-OES）

• 實(shí)驗(yàn)室使用的儀器（ICP-OES)詳細(xì)簡(jiǎn)介：

• 儀器性能特點(diǎn)：

•   1、儀器自動(dòng)化程度高

•   儀器的自動(dòng)化程度高，除了電源開(kāi)關(guān)外，所有操作均由軟件完成。智能化的軟件，可實(shí)時(shí)可對(duì)各項(xiàng)操作進(jìn)行實(shí)時(shí)反饋及信息提示。

•   2、安全可靠的固態(tài)射頻電源

•   儀器采用的射頻電源，具有體積小、輸出效率高、輸出功率穩(wěn)定，帶有水路、氣路及過(guò)載等各類安全保護(hù)功能，大大提升儀器的安全性，減小了儀器的故障率。

•   3、全自動(dòng)點(diǎn)火及匹配技術(shù)

•   軟件可全自動(dòng)一鍵點(diǎn)火，所有的參數(shù)設(shè)置變化，均自動(dòng)完成。配合自動(dòng)匹配技術(shù)，點(diǎn)火成功率高，操作簡(jiǎn)便。

•   4、智能化的火焰監(jiān)視功能

•   儀器配置了靈敏度高的光纖傳感器，可在儀器工作狀態(tài)下，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)火焰的工作情況，如遇異常熄火情況，可自動(dòng)關(guān)閉儀器。

•   5、超高分辨率的光路系統(tǒng)

•   儀器配置了超高分辨率的4320刻線的進(jìn)口光柵，配合*的光路調(diào)節(jié)技術(shù)，把普通儀器的分辨率約0、008nm降低至0、005nm以內(nèi)，超高的分辨率保證了測(cè)試元素之間沒(méi)有相互干擾。

•   6、精度高的恒溫系統(tǒng)

•   儀器整體光路采用精密恒溫系統(tǒng)保護(hù)，溫度的控制可根據(jù)客戶實(shí)驗(yàn)室實(shí)際環(huán)境溫度實(shí)時(shí)設(shè)定，無(wú)需長(zhǎng)時(shí)間不間斷的開(kāi)可調(diào)，控溫精度≤±0、1℃，精密的恒溫系統(tǒng)保證了光路的穩(wěn)定性，測(cè)試數(shù)據(jù)更穩(wěn)定。

•   7、高精度的氣流控制系統(tǒng)

•   儀器工作中的等離子氣、輔助氣、載氣全部采用高精度的質(zhì)量流量控制器（MFC）來(lái)控制，具有流量連續(xù)可調(diào)、輸出氣流的精度高，保證了測(cè)試數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。

•   8、蠕動(dòng)泵進(jìn)樣裝置

•   儀器配置了通道十二滾軸的高精度蠕動(dòng)泵，可同時(shí)保證進(jìn)樣的精度和防止積液，蠕動(dòng)泵的轉(zhuǎn)速連續(xù)可調(diào)，滿足客戶的多種測(cè)試要求。

•   9、觀測(cè)位置自動(dòng)調(diào)節(jié)

•   儀器采用二維的移動(dòng)平臺(tái)設(shè)計(jì)，可通過(guò)軟件實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)炬管的位置，通過(guò)反饋的信號(hào)值找到優(yōu)化的觀測(cè)位置，以獲取較強(qiáng)的靈敏度，得出準(zhǔn)確的測(cè)試效果。

•   10、超低的使用成本

•   儀器非工作狀態(tài)下儀器電源、冷卻水箱、氣體全部關(guān)閉，不產(chǎn)生任何費(fèi)用，儀器工作即開(kāi)即用，無(wú)需長(zhǎng)時(shí)間的光路預(yù)熱。使用氬氣純度為99、99*%即可，無(wú)需99、999%的高純氬，成本節(jié)約至少三分之一。

•   11、靈敏度高的檢測(cè)器

•   儀器配置了高靈敏度進(jìn)口光電倍增管（PMT）作為檢測(cè)器，可針對(duì)不同的待測(cè)元素自動(dòng)設(shè)置測(cè)試參數(shù)，以達(dá)到理想的檢測(cè)狀態(tài)，給出準(zhǔn)確的測(cè)試結(jié)果。無(wú)需制冷，無(wú)需吹掃，使用壽命長(zhǎng)。

•   ICP-OES儀器技術(shù)參數(shù)：

•   1、輸入電源：電壓交流220V，電流20A。

•   2、采用CzernyTurner型光路，焦距為1000mm。

•   3、離子刻蝕全息光柵，刻劃面積（80×110）mm。

•   4、全自動(dòng)一鍵點(diǎn)火，自動(dòng)匹配，點(diǎn)火穩(wěn)定、便捷。

•   5、采用同心圓霧化器搭配旋流霧室，1ppmMn強(qiáng)度＞1000000cps。

•   6、分辨率（Mn257、610nm）：≤0、005nm（4320刻線光柵）；≤0、008nm（3600刻線光柵）；≤0、015nm（2400刻線光柵）。

•   7、波長(zhǎng)范圍：190-460nm（4320刻線光柵）；190-500nm（3600刻線光柵）；190-800nm（2400刻線光柵）

•   8、自主研發(fā)全固態(tài)射頻電源，輸出功率800-1600W,連續(xù)可調(diào)，電源效率大于65%，工作頻率27、12MHz，頻率穩(wěn)定性＜0、05%，功率輸出穩(wěn)定性＜0、05%。

2. X射線熒光光譜儀（XRF）

• 硅片表面金屬污染物快速篩查。

• 石英坩堝純度驗(yàn)證。

• 對(duì)輕元素（如H、He、Li、Be）靈敏度低（檢測(cè)限>0.1%）。

• 定量精度受基體效應(yīng)影響（相對(duì)誤差約1%-5%）。

• 非破壞性檢測(cè)：樣品無(wú)需溶解或研磨，可直接分析固體、粉末、液體。

• 檢測(cè)范圍廣：可分析從鈉（Na）到鈾（U）的絕大多數(shù)元素。

• 快速篩查：檢測(cè)時(shí)間僅需幾秒至幾分鐘，適合生產(chǎn)線批量檢測(cè)。

• 波長(zhǎng)色散型（WDXRF）：分辨率高，適合高精度定量分析。

• 能量色散型（EDXRF）：速度快、便攜，適合現(xiàn)場(chǎng)分析。

• 原理：用X射線照射樣品，激發(fā)特征熒光X射線，通過(guò)檢測(cè)波長(zhǎng)和強(qiáng)度確定元素種類及含量。

• 分類：

• 優(yōu)勢(shì)：

• 局限性：

• 應(yīng)用場(chǎng)景：

• 應(yīng)用場(chǎng)景：

半導(dǎo)體材料中高精度元素成分含量檢測(cè)儀